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穿透式電子顯微鏡(TEM)
項目描述
穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一種使用高能量電子束讓超薄的樣品成像，影像分辨率可達0.1奈米的原子等級，用以觀察材料微結(jié)構(gòu)或晶格缺陷的分析儀器。
可針對材料之顯微結(jié)構(gòu)、晶格缺陷(Dislocation)、化學成分進行分析；搭配上EDS、HAADF(ZC)、應力分析等功能，更能得到原子尺度結(jié)構(gòu)與成份信息，解決制程上各種難題。FEI、JEOL等高階設備可完成測試。
應用范圍
顯微結(jié)構(gòu)分析(晶格影像)；
結(jié)晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析；
元素成分分析；
電子繞射圖分析；
薄膜應力分析；
雜質(zhì)及污染源分析。
檢測圖片